奈米結構材料
VLSI製程
顯示器元件
鑽石及類鑽碳
奈米碳管
電漿與薄膜技術
燃料電池技術
熱處理與表面改質
奈米銅製程、低介電質材料及CMP研磨劑之開發研究
高亮度SED顯示器元件之製作研究
甲醇燃料電池新型奈米結構電極材料之開發
一維奈米結構材料之開發與應用研究
奈米多層膜之製作與特性研究
CVD 鑽石、類鑽石薄膜之合成與應用研究
奈米類鑽薄膜技術之開發