表面定性分析(Survey Scan)： 樣品表面各種化學元素之存在
歐傑電子微區分析(Auger Point)：樣品表面選定微區之成份
歐傑電子縱深分析(Auger Depth profiling)：離子蝕擊下，樣品之各種化學元素的縱深分布
XPS化學態/成分分析：分析元素化學態及成分鑑定