一、儀器簡介：

儀器設備說明：

• 儀器購置年月：2005年 6 月
• 儀器經費來源：教育部
• 廠牌及型號：日本JEOL JSM-6700F
• 放置地點：光復校區工程六館103室

重要規格：

Gun：cold field emission type.
Resolution：

A：1.0nm (Acc.V=15kV,Mag=300K)
B：1.5nm (Acc.V=1kV,GB mode, Mag=200K)

Operation voltage：0.1kV to 30kV
Specimen stage：

A：Eucentric goniometer stage
B：X=70mm, Y=50mm, Z=1.5mm to 25mm,R：360°, T=-5° to +70°
 

• 位置：工程六館EF103
• 儀器廠牌、型號：JEOL、JSM-6700F
• 購置年限：2005年12月
• 重要規格：

（1）電子槍 冷陰極型式(cold field emission type)
（2）解析度(Resolution) :
         A：1.0nm (Acc.V=15kV,Mag=300K)
         B：1.5nm (Acc.V=1kV,GB mode, Mag=200K)
（3）倍率 : 25至300,000倍
（4）加速電壓(Operation voltage) : 0.1kV to 30kV
（5）探針電流 10-13 to 2×10-9 A
（6）試片大小限制 直徑Φ 25 mm × 高度10 mm
（7）試片載台 中心式試片台 :​ 

• A : Eucentric goniometer stage
• B : X-Y移動範圍:70 mm x 50 mm、旋轉範圍:360°、工作距離:1.5 mm to 25mm、傾斜角度: -5° to+70°

服務項目：
　　　SEI (Scanning Electron Image) : 試片表面型態微觀結構觀察及分析
　　　EDS (Energy Dispersive X-ray Spectrometer) : 微區元素成分之定性半定量分析
　　　BEI (Backscattered Electron Image) : TOPO(Topography) 凹凸表面觀察。
                          　　　　　　　　　  COMPO (Composition) 化學組成差異鑑別及影像觀測
備註：本儀器拒絕受理含毒性，腐蝕性，高揮發性及低熔點等之試片

儀器性能：

• Microstructure and morphology image (SEI, BEI, E, Sb, Bs, EV, STEM).
• Chemical analysis of specimen composition.

應用 : 

• ​​一般金屬、陶瓷、半導體、高分子等材料領域之微觀組織、成份。奈米材料、奈米元件之形貌、結構分析。IC半導體、封裝、光碟、LED等光電相關產業之破壞、故障分析等。 

二、設備服務須知：

• 本系統以學術研究為主，服務為輔。
• 開放初期，STEM功能僅開放學術合作與委託服務。
• 本系統服務以3小時為一單元 ，總計每週開放服務28單元。詳請參照『五、開放自行操作時間』。
• 本設備目前現金、計畫收費，先使用後收費的方式。
• 本設備需自行預約到儀器室前填單，其詳細辦法請參照『六、自行操作服務辦法』。
• 自行操作採取時段預約，使用者訓練與上機操作請參照『七、自行操作訓練與考核辦法』。本儀器為求為確保儀器能持續正常運作，避免儀器資源的浪費，並維護所有合格使用者的權益，必須對某些可能會影響儀器性能、或甚至有害的樣品加以限制，故訂定『九、送測樣品規範』，請使用者務必確實遵守。本單位FE-SEM配備有CCD影像擷取裝置，可存取成影像檔(.Tiff、.BMP、.JPG)，請自行攜帶光碟片存取檔案，請勿使用USB。
• 如使用USB經查獲，將須負擔SEM電腦修理之費用。

三、儀器相關人員

儀器負責教授	吳樸偉教授	03-5712121 #31227
儀器操作技術員	朱正萱小姐	03-5712121 #55327 z0577@g2.nctu.edu.tw

四、JEOL JSM-6700F FE-SEM相關辦法
五、開放自行操作時間
 

	星期日	星期一	星期二	星期三	星期四	星期五	星期六
9:00~12:00	開放	開放	開放	開放	開放	開放	開放
13:00~16:00	開放	開放	開放	開放	開放	開放	開放
17:00~20:00	17:00pm~23:00pm 樣品試片屬磁性、高分子、生醫、高揮發性之材料使用時段 嚴禁磁性粉末材料
20:00~23:00	17:00pm~23:00pm 樣品試片屬磁性、高分子、生醫、高揮發性之材料使用時段 嚴禁磁性粉末材料

• 全為自行操作時段，僅SEM6700+EDS才可以進磁性、高分子、生醫、高揮發性之材料使用時段
• 如操作時間與維修或是訓練考核時間衝突，以維修、訓練、考核為先。

六、自行操作服務辦法

• 本委託服務採取自行操作，請遵守規定
• 如有任何疑問，歡迎來電洽詢儀器負責人員。

七、自行操作訓練與考核辦法 

• 本系統自行操作僅開放予本校(國立交通大學) 碩士、博士班學生。
• 需訓練或是考核的同學，請至工程六館(三樓)材料系辦前，訓練單填上姓名、實驗室分機、Email等聯絡方式。
• 國立交通大學非材料科學與工程所學生請先填寫交大共同儀器訓練認證及使用資格變更申請表(SEM)，經指導教授簽名後交回工程六館110室，本單位將儘速回覆您的申請。
• 新訓人員累積訓練2次以上者方可向儀器負責人申請考核。考核通過者為可於開放時間內進行自行操作。
• 考核通過者如為外系者請提供學生證內碼和國立交通大學材料系網站­­→下載專區­­→工六館編制外人員門禁通行申請表（如不需要晚上或是假日實驗者，不須申請）
• 考核通過者有訓練新訓人員之義務，並遵守實驗室規範。
• 考核通過者若連續 6 個月無自行操作紀錄，則取消其自行操作資格。日後若需自行操作，需另行申請、訓練、考核。

八、樣品規範

• 為使儀器提供給必要研究者使用，避免儀器資源的浪費，只需普通簡單分析之樣品，建議至其他電顯處理使用，以充分發揮本儀器之功能。對於試片使用者必需詳細說明試片之材料種類、製作方式與溶劑種類，為減少儀器不必要的污染，本機台對於檢驗樣品的限制如下：

          (a)待測樣品應該具有適當、足夠的機械強度，以避免在進出電鏡、或在檢測的操作過程中，發生剝落、碎裂的狀況。
          (b)低熔點的材料如:銦,錫等,會產生相變及蒸鍍效應，請勿預約本機台。
          (c)在電子束照射下會分解或釋出氣體之樣品，如有機物、高分子等，若有影響真空造成污染之虞，本單位有權拒絕受理。
          (d)具強磁性、磁性或易被電磁透鏡吸引的粉末型式樣品或材料，本單位有權拒絕受理。
          (e)未經正確處理或充分乾燥的粉末樣品，本單位有權拒絕受理。

• 操作者上機之前，技術員會再次要求確認您送來檢測的樣品種類，請您誠實申報。如果發現申報不實，本單位將取消您的使用資格。
• 若因違反上述規定而造成儀器污染或損壞時，所隸屬單位及其指導教授須負責賠償，賠償費用由原廠評估，再由管理委員會決議後執行並暫停儀器之使用權。 

聯絡單位
窗口：國立交通大學材料科學與工程學系
地址：新竹市大學路1001號，工程六館110室
實驗室連絡人：朱正萱 小姐
電話：(03) 5712121 ext: 55327
E-Mail：z0577@g2.nctu.edu.tw

實驗室聯絡人 : 謝凱程 助教
電話 : (03)5712121 ext:55377
E-Mail： 911666alex@gmail.com

實驗室聯絡人 : 徐伯寧 助教
電話 : (03)5712121 ext:55318
E-Mail： seraph8938@gmail.com 

訓練資訊
訓練表單:https://docs.google.com/forms/d/1UvhjqZon6JFc9tokeC5hMKynREFuCFt-loBGIjj6FFs/edit 
考核表單:https://docs.google.com/forms/d/1tD_O86MC1K0yT8DqSv6Yv_DrDM_JBHLQTf0u1jtY1gM/edit

 

	服務費用
JEOL JSM-6700F FE-SEM	自行操作 NT$150/小時 校內委託操作NT$1000/小時 業界 NT$1,500/小時
JEOL JFC-1600 Auto Fine Coater	100元/次

備註：

• 本收費標準會視實際開放情況略作調整。
• 已預約時段當日未使用者，酌收當日預約時間之費用。