聚焦離子束與電子束顯微系統
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- 位置:工程六館EF213
- 儀器廠牌:FEI Nova 200
- 購置年限:2005年06月
- 用途:奈米材料之奈米尺度切割、加工、蝕刻、操縱與分析檢測。
- 服務項目:
- 穿透式電子顯微鏡試片(TEM sample)之製備
- 奈米結構製程:奈米材料、元件之特定圖形結構之製程及觀察
- 剖面試片之製作及觀察:剖面試片切割及影像記錄
- 白金之沉積:白金鍍層及影像記錄
- 製程上異常觀察分析:固態電子元件之線路修復、切割、鍍層及影像記錄
- 晶相分析及觀察
- 本機台加裝能量散佈質譜器(EDX),可作元素成分之定性及半定量之分析
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