Facilities/儀器設備

>Facilities>回上頁
聚焦離子束與電子束顯微系統
    • 位置:工程六館EF213
    • 儀器廠牌:FEI  Nova 200
    • 購置年限:2005年06月
    • 用途:奈米材料之奈米尺度切割、加工、蝕刻、操縱與分析檢測。
    • 服務項目:
    1. 穿透式電子顯微鏡試片(TEM sample)之製備
    2. 奈米結構製程:奈米材料、元件之特定圖形結構之製程及觀察
    3. 剖面試片之製作及觀察:剖面試片切割及影像記錄
    4. 白金之沉積:白金鍍層及影像記錄
    5. 製程上異常觀察分析:固態電子元件之線路修復、切割、鍍層及影像記錄
    6. 晶相分析及觀察
    7. 本機台加裝能量散佈質譜器(EDX),可作元素成分之定性及半定量之分析