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• • 位置：工程六館EF213
  • 儀器廠牌：FEI  Nova 200
  • 購置年限：2005年06月
  • 用途：奈米材料之奈米尺度切割、加工、蝕刻、操縱與分析檢測。
  • 服務項目：

  1. 穿透式電子顯微鏡試片(TEM sample)之製備
  2. 奈米結構製程：奈米材料、元件之特定圖形結構之製程及觀察
  3. 剖面試片之製作及觀察：剖面試片切割及影像記錄
  4. 白金之沉積：白金鍍層及影像記錄
  5. 製程上異常觀察分析：固態電子元件之線路修復、切割、鍍層及影像記錄
  6. 晶相分析及觀察
  7. 本機台加裝能量散佈質譜器(EDX)，可作元素成分之定性及半定量之分析